半导体材料四探针电阻率测试仪详情
发布时间： 2023-09-20 21:53:36 点击： 476
半导体材料四探针电阻率测试仪详情
半导体材料四探针电阻率测试仪详情介绍
半导体材料四探针电阻率测试仪是一种用于测量半导体材料电阻率的仪器。四探针电阻率测试仪采用四探针法，这是一种广泛采用的标准方法，具有设备简单、操作方便、精确度高、对样品的形状无严格要求等优点。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，一般采用0.5mm的间距。不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。
半导体材料的电阻率是反映其导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种常用的方法。四探针电阻率测试仪适用于片状、棒状等半导体材料的测量，如半导体器件厂和材料厂。
四探针电阻率测试仪的技术指标包括：
方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□
电阻率范围：10-6～2×106Ω-cm
电导率范围：5×10-6～106s/cm
测试电流范围：0.1μA～100mA
电流精度：±0.1%读数
显示读数：电阻、电阻率、方阻、电导率、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率、压强等。
四探针电阻率测试仪采用四探针法进行测量，需要使用探头。探头用于测量样品的电阻率，通常由四根探针组成，呈直线排列，间距为0.5mm。不同探针间距的探头需要针对不同的样品进行校正。探头一般由钨或铂制成，具有高导电性和耐腐蚀性。探头的形状和尺寸也会影响测量结果，因此需要选择合适的探头。常见的探头形状有圆形和平面形等。在测量过程中，探头将电流施加到样品上，并测量样品两端的电压差，从而计算出样品的电阻率。
选择四探针电阻测试仪时需要考虑以下因素：
测试范围：根据被测样品的方块电阻范围选择合适的测试范围。
精度：选择具有较高测量精度和稳定性的测试仪。
附加功能：选择具有附加功能的测试仪，如计算机控制、自动测试、数据处理和分析等。
测试速度：选择具有较快测试速度的测试仪，可以提高工作效率。
探头类型：根据被测样品类型选择合适的探头类型，如单电测、双电测、手动/电动等。
仪器品牌和价格：选择知名品牌和价格合理的测试仪。
综上所述，选择四探针测试仪时需要根据实际需求和预算进行综合考虑，选择适合自己的测试仪。
