半导体电阻率测试仪工作原理,操作流程及使用方法
发布时间： 2023-09-21 14:52:58 点击： 501
半导体电阻率测试仪工作原理,操作流程及使用方法
半导体电阻率测试仪是用于测量半导体材料电阻率、方块电阻（薄层电阻）以及金属薄层电阻的仪器。它根据四探针测试原理，可以用于片状、棒状等半导体材料的测量。这类测试仪具有测量精度高、范围广、稳定性好、结构紧凑、使用方便、价格低等特点。
半导体电阻率测试仪的测量范围通常包括：电阻率，方块电阻（薄层电阻），以及薄层金属电阻。数字电压表是仪器的关键部分，其量程和分辨率会直接影响测量结果。恒流源也是仪器的关键部分，其输出电流应可调节。此外，测试探头的机械游移率也是影响测量结果的关键因素。
半导体电阻率测试仪的测量结果可能会受到被测材料的尺寸、形状、表面粗糙度等因素的影响，因此在使用时需要选择合适的测试方法和测试条件。此外，为了保证仪器的准确性和稳定性，需要定期对仪器进行校准和维护。
常用的接触式测量半导体材料电阻率的方法主要有两种：两探针法和四探针法。两探针法利用探针与体电阻直接接触，避免了与测试电阻的接触从而消除误差。四探针法直线四探针法是用针距约为毫米的四根探针同时压在样品的平整表面上，利用恒流探针通以一个小电流，然后用高输入阻抗的电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压。利用高阻值电压计测得探针间的电压值，从而根据公式为探针系数是常数，它可以测量样品沿径向分布的断面电阻率
半导体材料电阻率测试仪的操作步骤可以按照以下进行：
先备制好样品，样品一般需要在恒定的环境下放置一定的时间，来保证样品性质的一致性。
开机预热，并准备好电脑开启PC软件，及固定好测试平台的调节，探头。
将样品放置于平台上，并将旋转上下调节旋钮将探头探针调节并压着样品表面。
此时需要在显示器上设置好测试条件，包括：测试电压，电流、探针间距、通讯方式选择、探针间距等相关数据。
