FT-300TZ两探针电阻率测试仪
发布时间: 2024-04-29 16:24:19 点击: 1052
FT-300TZ两探针电阻率测试仪
一、功能介绍:
适用于半导体材料企业、科研、高等院校及实验室分析半导体材料纵向电阻率;可测量横截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率,试样长度与截面尺寸之比应不小于3:1;配置测量平台,正反向电流测量模式;液晶显示,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,可选购PC软件实时数据和报表管理;提供中文或英文两种语言操作界面选择.
二.参照标准:
GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法-方法2直流两探针法;
SEMI MF 397-1106<<硅棒电阻率测定两探针法>>
三、参数 资料
1.电阻率:10^-7~2×10^7Ω-cm
2.电 阻:10^-7~2×10^7Ω
3.电导率:5×10^-7~10^7s/cm
4.分辨率: 0.1μΩ 测量误差±(0.05%读数±5字)
5.测量电压量程: 2mV 20mV 200mV 2V 测量精度±(0.1%读数)
6.分辨率: 0.1uV 1uV 10uV 100uV
7.电流输出:直流电流 0~1000mA 连续可调,
量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,1000mA, 误差:±0.2%读数±2字
8.显示方式:液晶显示:电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等.
9.温度要求:23℃±1℃
10.电源:220±10% 50HZ/60HZ
11. 测量平台参数如下:
1).可测硅芯、检验棒尺寸:直径4~22㎜ (其他规格可定制)
2).探针头探针与试样接触位置重复,无横向移动。
3).两探针测试探针。探头间距1.59mm(其他规格可定制);探针机械游率:±0.3%。
4).探针直径0.8㎜;探针压力总6-12N,探针材料:钨针,
5).探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧
12.标配外选购项:a.pc软件1套;b.标准电阻1件;c.电脑和打印机