FT-3110系列全自动四探针测试仪
发布时间： 2024-12-11 10:31:34 点击： 4793
FT-3110系列全自动四探针测试仪
功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出，自动正/负电压测量
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；
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规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展） |
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1.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.电阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.测试电流 |
0.1μA;1μA;10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.电阻精度 |
≤0.3%（标准电阻） |
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5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
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6.压力范围 |
探针压力可调范围：100-500g |
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7.探针 |
钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 |
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8.载台类型及尺寸选购 |
选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 |
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9.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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10.重复性 |
单点重复性：重复性≤0.5% |
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11.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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12.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
参数资料technical data
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规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展） |
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1.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.电阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.测试电流 |
0.1μA;1μA;10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.电阻精度 |
≤0.3%（标准电阻） |
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5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
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6.压力范围 |
探针压力可调范围：100-500g |
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7.探针 |
钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 |
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8.载台类型及尺寸选购 |
选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 |
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9.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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10.重复性 |
单点重复性：重复性≤0.5% |
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11.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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12.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
参数资料technical data
三.技术参数：
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规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B |
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1.电阻 |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
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2.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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3.电阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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4.测试电流 |
0.1μA.1μA.10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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5.电流精度 |
±0.1% |
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6.电阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、 报表生成等 |
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8.压力范围选购： |
探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调 |
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9.探针 |
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 |
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10.可测晶片 尺寸选购 |
晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
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11.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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12.加压方式 |
测量重复性：重复性≤3% |
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13.安全防护 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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14.测试环境 |
真空 |
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15.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
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16.选购项目 |
电脑和打印机 |
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