FT-3120 系列半自动四探针测试仪
发布时间： 2024-04-29 16:36:08 点击： 2904
FT-3120 系列半自动四探针测试仪
一.功能描述：
四点探针标准测试方法，采用步进系统自动控制探头与样品接触，减少人为因素对测试结果的影响；参照A.S.T.M 标准；测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式，同一位置的重复测试或多点的面电阻测量，报表输出数据统计分析；提供标准校准电阻件.
二.适用范围：
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
三.技术参数：
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规格型号 |
FT-3120A |
FT-3120B |
FT-3120C |
FT-3120D |
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1.电阻 |
10^-3～2×10^4Ω |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
10-4～1×107Ω |
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2.方块电阻 |
10^-3～2×10^4Ω/□ |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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3.电阻率 |
10^-4～2×10^5Ω-cm |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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4.测试电流 |
0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，
10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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5.电流精度 |
±0.1% |
±2% |
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6.电阻精度 |
≤0.3% |
≤10% |
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7.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析：过程数据，大、小值，均值，方差，变异系数，样品编号，测试点数统计报表生成等 |
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8.探针范围 （选购）： |
探针压力为100-550g；依据样品接触需要手动调节 |
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9.探针 |
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 |
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10.可测晶片 尺寸选购
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晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
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11.分析模式 |
自动或手动单点模式 |
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12.加压方式 |
测量重复性：重复性≤3% |
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13.安全防护 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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14.测试环境 |
实验室环境 |
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15.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
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16.选购项目 |
电脑和打印机 |
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